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SIERRA質量流量控制器

SEC-E50質量流量控制器

產品分類：SIERRA質量流量控制器

產品介紹

概要

它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控制。

特征

可對應±0.5％F.S.：SEC-405(氣體種類限定)
同系列產品，從0.1CCM至200SLM(N₂)都可進行流量控制
實現面間距離106mm: SEC-300型式

規格

SEC-310

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開； NC: 非通電時：關閉
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-320

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-405

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：N2.Ar.H2.O2.CO2.CH4.C3H8
流量控制范圍	2?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±0.5％ F.S.(滿量程)

SEC-410

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開；NC: 非通電時：關閉
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-510

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開；NC: 非通電時：關閉
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-510A

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開；NC: 非通電時：關閉
標準流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-520A

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	30/50 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-551

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開；NC: 非通電時：關閉
標準流量量程	30/50/100 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-552

氣體接觸部材質	SUS-316、バイトン
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	30/50/100 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-610

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	50/100/150 SLM
流量控制范圍	10?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(滿量程)

SEC-620

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	50/100/150 SLM
流量控制范圍	10?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-623

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	150/200 SLM (H2:300 SLM)
流量控制范圍	10?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-400MK2

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK2

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-400MK3

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

氣體接觸部材質	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

D212 D214壓力鈍感質量流量計

SEC-N112 數字式質量流量控制器

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