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產品分類：Alicat質量流量控制器
應用及案例
● 大學/研究所 ● 真空行業及鍍膜 ● 半導體 ● 光伏 ● 過程工藝氣體測量
產品特色
數字化產品 帶氣動截止閥，泄漏率低 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等 多參數控制:體積流量、質量流量和壓力 標配三種控制方式：數字、模擬和本地面板 可選高精度：可優于0.5% 量程比 200:1 響應時間快 僅需100ms(可調) 內置98種氣體 現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
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