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產品分類：BROOKS質量流量控制器 / Brooks質量流量計
SLA5820_數字橡膠密封壓力式質量流量控制器
數字橡膠密封;
流量范圍:0-30 slpm;
精度:±0.5% of FS;
最大工作壓力:1450 psia
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