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產品分類：BROOKS質量流量控制器
SLA5840數字式壓力式質量流量計
數字式; 流量范圍:0-30000 sccm N2 eq;
流量精度:讀數±1.0%(20%-100% FS);±0.2% FS(流量<20% FS);
最大工作壓力:1500 psig
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