æœå‹™è‡³ä¸Š 百分百熱忱æœå‹™
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產å“分類：BROOKS質é‡æµé‡æŽ§åˆ¶å™¨ / Brooks質é‡æµé‡è¨ˆ
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æ¨¡æ“¬æ©¡è† å¯†å°;
æµé‡èŒƒåœ:50 sccm-40 slpm;
精度:±3.0% of FS;±1.0% of FS;
壓力:0-150 psig;
閥門:
閥門常閉:<0.3V;
閥門常開:>4.8V
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