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Brooks質量流量計

4860質量流量計

產品分類:BROOKS質量流量控制器 / Brooks質量流量計

產品介紹

4860_模擬橡膠密封質量流量計(51C41L)

模擬橡膠密封;

流量范圍:50 sccm-40 slpm;

精度:±3.0% of FS;±1.0% of FS;

壓力:0-150 psig;

閥門:

閥門常閉:<0.3V;

閥門常開:>4.8V

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