CDG160A-C膜電容å¼å£“力傳感器屬于高精度溫度補償型真空機,在苛刻的生產環境ä¸å…·æœ‰ç©©å®šçš„性能,先進的數å—é›»åå¸æ高真空計的性能和易于使用的特點,如一éµèª¿é›¶åŠŸèƒ½å’Œè¨é»žèª¿æ•´ï¼ŒæŠ—è…è•æ€§çš„超純陶瓷傳感器具有å“越的零點穩定性與é 期數百è¬æ¬¡å£“強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。傳感器å±æ•ä¿è·çœŸç©ºè¨ˆé˜²æ¢éŽç¨‹æ±¡æŸ“ã€‚å …å›ºè€ç”¨çš„機械çµæ§‹å’Œæ•¸å—é›»åå¸åŠ 強了EMC兼容性,長期穩定性和溫度補償性。
優 點
â—† 全刻度范åœå¾ž100毫乇…1000乇
â—† é›»æºæŽ¥é€šåŽçš„快速穩定性
â—† 暴露大氣壓åŽçš„快速æ¢å¾©æ€§
â—† 抗è…è•æ€§é™¶ç“·å‚³æ„Ÿç›£æ¸¬å™¨
â—† å“越的長期訊號穩定性
◆ 溫度補償
â—† ä¿è·å‚³æ„Ÿå™¨é˜²æ¢æ±¡æŸ“
â—† 一éµèª¿é›¶åŠŸèƒ½
â—† 寬范åœé›»æº
â—† 2個è¨é»žï¼ˆé¸é …)
â—† RS232接å£ï¼ˆé¸é …)
用 途
è¦æ±‚高的應用æ¢ä»¶ä¸‹ï¼Œç²¾ç¢ºè€Œå¿«é€Ÿçš„壓強測é‡:
â—† 用于刻è•ï¼ŒCVD, PVD, ALDåŠå°Žé«”åˆ¶é€ è¨å‚™
â—† 資料貯å˜å’Œé¡¯ç¤ºå™¨åˆ¶é€ è¨å‚™
â—† å·¥æ¥çœŸç©ºè¨å‚™
â—† 常用高精度真空測é‡
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