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產(chǎn)品分類:MKS質(zhì)量流量控制器
M10MB_經(jīng)濟型模擬橡膠密封質(zhì)量流量計
模擬式橡膠密封;
流量范圍:10-50000 sccm;
最大進氣壓力:150 psig;
精度:10 to 5000 sccm:±1% of F.S.; 10000 to 20000 sccm::±1.5% of F.S.; 30000 to 50000 sccm::±2% of F.S.;
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