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FC-R7810系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質密封具備優異的低泄漏特性，可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE獨特電氣信號可選方案，可方便對用戶使用的質量流量控制器（MFC）進行替換，操作簡單。
特點：
◆高精度
◆高信賴和可靠性
◆耐腐蝕設計
◆采用金屬密封材質
◆VCR、Swagelok互換的氣路接口
◆10SCCM－200SLM滿量程范圍
◆方便的互換性
◆高速應答***的統一性，目前世界上有大約7萬只在運行中的產品，內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽
◆方便的互換性
技術參數：
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性能指標
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FC-R7800CD/FC-R7800D系列
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FC-R7810CD/FC-R7810D系列
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FC-R7820CD/FC-R7820D系列
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滿量程范圍
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10Sccm-5Slm
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N/O:6-20slm*
N/C:6-50slm**
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35-200Slm
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響應時間
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滿流量的±2%范圍內,小于2秒
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滿流量的±2%范圍內,小于3秒
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精度
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≤±1%滿量程
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≤±2%滿量程
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線性鍍
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≤滿量程±0 5%
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≤滿量程±0 5% ＃1
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≤滿量程±1%
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重復性
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≤滿量程±0.2%
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泄漏率
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1X10E-11 Pa.m ?/sec
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控制范圍
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滿流量的2%-5% #2
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壓差
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49Kpa-275Kpa
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69Kpa-275Kpa
98Kpa-275Kpa
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147Kpa-275Kpa
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正常工作壓
力
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490Kpa
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進氣壓力
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980Kpa
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溫度范圍
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5-45℃(41-113℉)
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輸入電源
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+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 180mA
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+15VDC±2% 25mA
-15VDC±2% 200mA
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功率
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3.1W max
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3.5W max
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輸入信號
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0-5 VDC
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輸出型號
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0-5 VDC
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控制閥形式
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常開或常閉電磁閥
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密封件
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金屬密封
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材質
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316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠）
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標準接口
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1/4"VCR和Swagelok兼容
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3/8"VCR,1/4"VCR
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重量
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1.0KG
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2.7KG
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＃1滿量程流量值大于30SLM線性度≤滿量程±1%
＃2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-***
＃3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa
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