|
所謂質(zhì)量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通常可分為體積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質(zhì)量流量計在測定流體質(zhì)量的時候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
技術(shù)參數(shù)
|
型號
|
SEC- (質(zhì)量流量控制器)
|
E60
|
E70
|
E80
|
|
SEF- (質(zhì)量流量計)
|
E60
|
E70
|
E80
|
|
適用氣體種類*1
|
N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10
|
N2、O2、Air、H2
|
|
氣體接觸部材質(zhì)
|
SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼
|
|
閥門型號
|
非通電時 關(guān)閉
|
|
標準流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
|
50/100 SLM
|
200 SLM
|
300/500 SLM
|
|
流量控制范圍 (適于SEC系列)
|
5?100% F.S.
|
|
流量測量范圍 (適于SEF系列)
|
0?100% F.S.
|
|
響應(yīng)速度
|
1秒以內(nèi)(T98)
|
2秒以內(nèi)(T98)
|
|
流量精度
|
±1% F.S.
|
±2% F.S.
|
|
直線性
|
±0.5% F.S.
|
±1% F.S.
|
|
反復性
|
±0.5% F.S.
|
±1% F.S.
|
|
工作差壓值值(適于SEC系列)
|
100?300kPa(d)
|
200?350kPa(d)
|
|
使用壓力 (適于SEF系列)
|
350kPa(G)以下
|
|
耐 壓
|
1MPa(G)以下
|
|
外部泄漏率
|
1×10-7Pa?m3/s(He)以下
|
450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)
|
|
使用環(huán)境溫度
|
5?45℃(精度的確保：15?35℃)
|
|
流量設(shè)定信號
|
0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.
|
|
流量輸出信號
|
0?5VDC(最小負荷電阻2kΩ)
|
|
驅(qū)動電源
|
＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
|
|
標準接頭*2
|
3/8SWL 類型
|
1/2SWL 類型
|
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
|