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產品分類：BROOKS質量流量控制器 / Brooks質量流量計
SLAMF51_防爆型數模橡膠密封質量流量控制器(21L12L)
數模橡膠密封;
流量范圍:20-100 slpm;
耐壓:100 Bar
精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(below 20% FS);
±1.0% of FS(1100-2500 slpm)
單位：臺 產地：美國 交貨周期：6周 保期：一年 驗收標準：OEM標準
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