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產品分類：BROOKS質量流量控制器 / Brooks質量流量計
SLA5863_數模橡膠密封質量流量計(12L253L)
數模橡膠密封;
流量范圍:100-2500 slpm;
精度:±1.0% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(<20% FS);,
±1.0%F.S.(>1100 slpm)
單位：臺 產地：美國 交貨周期：6周 保期：一年 驗收標準：OEM標準
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