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產品分類：MKS質量流量控制器
PFC-60_πMFC數字低壓、多種氣體、多種量程金屬密封質量流量控制器
數字式;
流量范圍:10-30000 sccm;
最大入口壓力:150 psig;
壓力精度:1% of Reading;
溫度精度:±2℃
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