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產(chǎn)品分類：BROOKS質(zhì)量流量控制器
5850E質(zhì)量流量計
數(shù)模橡膠密封;
流量范圍:3-30000 sccm;
精度:±0.5% of rate(20%-100% FS);
±0.2% FS(<20% FS);,
±1.0%F.S.(>1100 slpm)
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