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MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下徹底實現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點(diǎn)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。最適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
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搭載熱感閥
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追求成本優(yōu)勢、實現(xiàn)成本降低
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SEC-400MK3
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10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
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SEC-500MK3
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10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
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